RIE-PE刻蝕機(jī)其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
　　RIE-PE刻蝕機(jī)是在濕法腐蝕技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，屬于純化學(xué)性腐蝕。這種方法腐蝕均勻性好、損傷小，缺點(diǎn)是各向刻蝕同性，對于1μm以下的細(xì)線條線寬損失明顯。所以，在等離子刻蝕的基礎(chǔ)上改進(jìn)反應(yīng)結(jié)構(gòu)和接電方式，出現(xiàn)了反應(yīng)離子刻蝕。該方法加快了縱向的腐蝕速度，具有各向異性的腐蝕特點(diǎn)。
　　RIE-PE刻蝕機(jī)的主要優(yōu)勢：
　　1、超凡的印刷體字符打印效果
　　2、高可靠性：無需消耗品以及經(jīng)久考驗(yàn)的二氧化碳激光管技術(shù)
　　3、無論對靜止物品還是高速生產(chǎn)線上，噴碼效果一樣出色
　　4、信息打印方向無限制
　　5、可打印出各種類型的圖形
　　6、zui少量的維護(hù)工作以及對環(huán)境無礙
　　RIE-PE刻蝕機(jī)的工作原理：
　　RIE-PE刻蝕機(jī)是用離子轟擊工件并把能量轉(zhuǎn)換到工件表面，從表面移出一個或多個原子的一種加工方式。即從離子源把離子引入到真空室中，離子平行且被加速地照射到工件上，從工件表面移出原子。在理想情況下，一個離子從表面移出一個原子，而不干擾任何鄰近的原子。
　　離子刻蝕機(jī)由真空加工室、離子束發(fā)生器、離子引出和加速系統(tǒng)、離子中和器、束流檢測檔板、真空系統(tǒng)、供氣及其控制系統(tǒng)、電源裝置、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等主要部件組成。
　　RIE-PE刻蝕機(jī)的主要性能特點(diǎn)：
　　1、系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)控制，通過觸摸屏操作，參數(shù)設(shè)置靈活，可控性好；
　　2、采用特別技術(shù)離子束產(chǎn)生器，能量可控，適用不同產(chǎn)品蝕刻、拋光、減薄等形式加工，產(chǎn)品加工均勻性好；
　　3、*的柵網(wǎng)設(shè)計(jì)，保證束流的均勻性和穩(wěn)定性，產(chǎn)品加工一致性和重復(fù)性好；
　　4、對材料無選擇性，任何固體材料都可加工；
　　5、工件加工角度可在0°～90°之間任意變化；
　　6、6×10-6mbar無油超真空系統(tǒng)，保證系統(tǒng)在5×10-5～2×10-4 mbar的工作壓力下穩(wěn)定工作；
　　7、工藝安全，無污染。系統(tǒng)操作維護(hù)簡單，運(yùn)行成本低。