Parylene 派瑞林涂層技術：

Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料，學名是聚對二甲苯，通過一種特別的化學氣相沉積（CVD）工藝涂覆在物體表面。這個過程在室溫、真空環(huán)境下進行，生成的薄膜具有高度的保形性（能均勻覆蓋復雜形狀、銳邊、縫隙和針孔）、無針孔、透明、生物相容性好、化學惰性強、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能（防潮、防腐蝕氣體、防鹽霧等）。

Parylene派瑞林真空鍍膜設備廣泛應用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統具有以下優(yōu)勢：
       1、在真空腔體中集成等離子源
       2、兼容超凈間的系統設計
       3、經過驗證且具有完整可塑性的生產流程
       4、可以提供從定制化的涂覆系統和量身定制的工藝開發(fā)，到全面的耗材、備件供應以及長期的技術支持服務

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業(yè)量產領域的工業(yè)機型。同時，我們也可以根據需求在真空腔體中集成等離子源，實現在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統設計，在小占地面積下提供高性能技術，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

相關型號：

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設備，配備多種可選裝置與附加組件，旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數系統均具備以下功能配置：
   - 可定制腔體尺寸
   - 支持選配等離子體源
   - 配備冷卻系統及集成泵系統

Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設計的系統，主要由兩部分組成：腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設備均采用此類模塊化設計，旨在確保系統的靈活性，從而能夠根據客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調整。其中，“3000"代表產品系列，而“LV300"則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數量要求。  我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外，該系統標配等離子源，并可選配旋轉工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質量流量控制器，以滿足不同氣體入口的需求。

一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  該系統已被全球眾多潔凈室設施及高等院校廣泛采用，且其應用范圍與使用數量仍在持續(xù)增長。